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固定橋式結構
固定橋式三坐標與移動結構的區別在于，其橋框固定不動，直接與底部基座連接，力德三坐標維護保養，X向標尺和驅動機構安裝在工作臺下方中部，納諾三坐標維修，工作臺沿底座的導軌進行移動。其主要部件的運動穩定性好，豐都三坐標，運動誤差小，適用于高精度測量，但工作臺負載能力小，結構敞開性不好，主要用于高精度的中小機型。
三坐標龍門式結構
移動部分只是橫梁，移動部分質量小，整個結構剛性好，三個坐標測量范圍較大時也可保證測量精度，適用于大型三坐標，缺點是立柱限制了工件裝卸，單側驅動時仍會帶來較大的阿貝誤差，海克斯康三坐標買賣，而雙側驅動方式在技術上較為復雜，只有Y向跨距很大、對精度要求較高的大型測量機才采用。
三坐標水平懸臂式結構
也稱為水平臂式三坐標，在汽車工業中有廣泛應用。其結構簡單、敞開性好，尺寸也可以較大，但因橫臂前后伸出時會產生較大變形，故測量精度不高，用于中、大型機型。
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三坐標測量機日常維護
一、每周的維護
為了避免精密過濾器堵塞而影響測量機正常工作，每周應檢查各級過濾器，放掉積水。
二、每月的維護
1、 檢查清理空氣處理元件，清潔保養濾芯及氣路。如果發現嚴重污染需清洗或更換濾芯，必要時需要附加的空氣過濾和冷凍干燥機以改善氣源質量。
2、 檢查測量機的零部件是否有松動、脫落或損壞的情況，如有必要，進行緊固松動或脫落的零件，維修或更換損壞的零件。
3、 檢查光柵表面是否有異物，使用干凈、干燥的無纖維棉布清潔光柵尺表面。
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